题名 | 半导体外延结构、制备方法结构及半导体器件 |
发明人 | |
申请号 | 201911026043.6
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申请日期 | 2019-10-25
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专利号 | 201911026043.6
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专利状态 | 申请中
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专利类型 | 发明专利
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学校署名 | 第一
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语种 | 中文
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来源库 | 人工提交
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成果类型 | 专利 |
条目标识符 | http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/124650 |
专题 | 工学院_深港微电子学院 |
作者单位 | 南方科技大学, 深港微电子学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 |
何佳琦,汪青,于洪宇. 半导体外延结构、制备方法结构及半导体器件. 201911026043.6.
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