| 题名 | 一种薄膜体声波谐振器结构及其制备方法 |
| 发明人 | |
| 申请号 | 201910796365.2
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| 申请日期 | 2019-08-27
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| 专利号 | 201910796365.2
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| 专利状态 | 申请中
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| 专利类型 | 发明专利
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| 学校署名 | 其他
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| 语种 | 中文
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| 来源库 | 人工提交
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| 成果类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/124659 |
| 专题 | 工学院_深港微电子学院 |
| 作者单位 | 1.深港微电子学院 2.苏州晶湛半导体有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 |
王亮,于洪宇,程凯. 一种薄膜体声波谐振器结构及其制备方法. 201910796365.2.
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| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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