南方科技大学知识苑(SUSTech KC): 基底材料对石墨烯膜F-P声压传感器灵敏度的影响分析

题名	基底材料对石墨烯膜F-P声压传感器灵敏度的影响分析
作者	李成 1,2; 刘欢 1,2; 宋学锋3 ; 肖习 1; 樊尚春 1
发表日期	2021-01-15
发表期刊	仪表技术与传感器影响因子和分区
期号	01页码:123-126
摘要	文中以多层石墨烯膜为敏感膜片,分别制备了基于PDMS、SU-8、氧化锆的石墨烯膜F-P声压传感器,应用薄膜与基底之间吸附理论,分析了石墨烯膜与基底间吸附能相对于基底材料的杨氏模量成正向变化的趋势,并实验测试了所制备的声压传感器灵敏度。实验结果表明,制备的PDMS和SU-8基底具有较大的表面粗糙度,其虽降低了与石墨烯膜的吸附能,但也造成悬浮石墨烯膜的周边固支边界条件变差,且较软的基底材料易导致F-P腔体变形,从而造成灵敏度整体上未能提升。
关键词	石墨烯膜声压传感器基底材料灵敏度分析
收录类别	CSCD
语种	中文
学校署名	其他
来源库	CNKI
引用统计
成果类型	期刊论文
条目标识符	http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/218955
专题	创新创业学院
作者单位	1.北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院 2.深圳北航新兴产业技术研究院 3.南方科技大学创新创业学院
推荐引用方式 GB/T 7714	李成,刘欢,宋学锋,等. 基底材料对石墨烯膜F-P声压传感器灵敏度的影响分析[J]. 仪表技术与传感器,2021(01):123-126.
APA	李成,刘欢,宋学锋,肖习,&樊尚春.(2021).基底材料对石墨烯膜F-P声压传感器灵敏度的影响分析.仪表技术与传感器(01),123-126.
MLA	李成,et al."基底材料对石墨烯膜F-P声压传感器灵敏度的影响分析".仪表技术与传感器 .01(2021):123-126.