南方科技大学知识苑(SUSTech KC): 微纳加工材料综合实验设计与实践

题名	微纳加工材料综合实验设计与实践
作者	程化; 卢周广; 叶飞; 王海鸥; 田颜清
发表日期	2020
发表期刊	教育现代化影响因子和分区
ISSN	1729-1267
卷号	7 期号:62页码:160-163
摘要	为了提高学生学习的主动性，让学生对微纳加工的方法原理应用等有更深入的了解和运用，本文将科研项目所使用的微纳加工技术巧妙地融入到实验教学过程中，设计了微纳加工综合实验，知识点涵盖了几种常用的微纳加工技术如光刻、软刻蚀、纳米压印等，实验内容兼顾综合性和趣味性，能为学生在今后解决材料微纳技工相关的现实问题奠定坚实的基础，同时可以为其他高校开展微纳加工实验提供借鉴。
关键词	微纳加工综合设计教学实践
相关链接	[万方记录]
语种	中文
学校署名	第一
资助项目	^A本文系广东省教改项目^B（基金 SJJG201703）；南方科技大学校级教改"材料专业综合实验课程教学改革与探索"（基金SJJG201707）^D1
来源库	WanFang
万方记录号	QKBJBD20202021032600016263
成果类型	期刊论文
条目标识符	http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/222816
专题	工学院_材料科学与工程系
作者单位	南方科技大学材料科学与工程系，广东深圳
第一作者单位	材料科学与工程系
第一作者的第一单位	材料科学与工程系
推荐引用方式 GB/T 7714	程化,卢周广,叶飞,等. 微纳加工材料综合实验设计与实践[J]. 教育现代化,2020,7(62):160-163.
APA	程化,卢周广,叶飞,王海鸥,&田颜清.(2020).微纳加工材料综合实验设计与实践.教育现代化,7(62),160-163.
MLA	程化,et al."微纳加工材料综合实验设计与实践".教育现代化 7.62(2020):160-163.