题名 | A Chip-Scale GaN-Based Optical Pressure Sensor With Microdome-Patterned Polydimethylsiloxane (PDMS) |
作者 | |
通讯作者 | Li, Kwai Hei |
发表日期 | 2021-10
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DOI | |
发表期刊 | |
ISSN | 1558-0563
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卷号 | 42期号:10页码:1532-1535 |
关键词 | |
相关链接 | [IEEE记录] |
收录类别 | |
学校署名 | 第一
; 通讯
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WOS记录号 | WOS:000701249800034
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EI入藏号 | 20214010980725
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EI主题词 | Gallium nitride
; III-V semiconductors
; Integration
; Microchannels
; Polydimethylsiloxane
; Sapphire
; Silicones
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EI分类号 | Gems:482.2.1
; Semiconducting Materials:712.1
; Organic Polymers:815.1.1
; Calculus:921.2
; Pressure Measuring Instruments:944.3
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ESI学科分类 | ENGINEERING
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来源库 | IEEE
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全文链接 | https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=9509502 |
引用统计 |
被引频次[WOS]:8
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成果类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/253401 |
专题 | 工学院_深港微电子学院 |
作者单位 | 1.Southern Univ Sci & Technol, Sch Microelect, Shenzhen 518055, Peoples R China 2.Southern Univ Sci & Technol, Engn Res Ctr Integrated Circuits Next Generat Com, Minist Educ, Shenzhen 518055, Peoples R China 3.Southern Univ Sci & Technol, Engn Res Ctr Three Dimens Integrat Guangdong Prov, Shenzhen 518055, Peoples R China |
第一作者单位 | 深港微电子学院 |
通讯作者单位 | 深港微电子学院; 南方科技大学 |
第一作者的第一单位 | 深港微电子学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 |
An, Xiaoshuai,Luo, Yumeng,Yu, Binlu,et al. A Chip-Scale GaN-Based Optical Pressure Sensor With Microdome-Patterned Polydimethylsiloxane (PDMS)[J]. IEEE Electron Device Letters,2021,42(10):1532-1535.
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APA |
An, Xiaoshuai,Luo, Yumeng,Yu, Binlu,Chen, Liang,&Li, Kwai Hei.(2021).A Chip-Scale GaN-Based Optical Pressure Sensor With Microdome-Patterned Polydimethylsiloxane (PDMS).IEEE Electron Device Letters,42(10),1532-1535.
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MLA |
An, Xiaoshuai,et al."A Chip-Scale GaN-Based Optical Pressure Sensor With Microdome-Patterned Polydimethylsiloxane (PDMS)".IEEE Electron Device Letters 42.10(2021):1532-1535.
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条目包含的文件 | 条目无相关文件。 |
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