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题名

A Self-Rectifying HfOx-Based Unipolar RRAM With NiSi Electrode

作者
通讯作者Yu, H. Y.
发表日期
2012-04
DOI
发表期刊
ISSN
0741-3106
EISSN
1558-0563
卷号33期号:4页码:585-587
摘要
In this letter, a unipolar resistive switching random access memory (RAM) based on NiSi/HfOx/TiN structure is demonstrated, which is compatible with NiSi S/D in advance CMOS technology process. Highlights of the demonstrated resistive RAM include the following: 1) CMOS-technology-friendly materials and process; 2) excellent self-rectifying behavior in low-resistance state (> 10(3) at 1 V); 3) well-behaved memory performance, such as high on/off resistance ratio (> 10(2)) and good retention characteristics (> 10(5) s at 125 degrees C); and 4) wide readout margin for high-density cross-point memory devices (number of word lines > 10(6) for the worst case condition).
关键词
相关链接[来源记录]
收录类别
SCI ; EI
语种
英语
学校署名
通讯
资助项目
A*STAR[092 151 0086]
WOS研究方向
Engineering
WOS类目
Engineering, Electrical & Electronic
WOS记录号
WOS:000302232900040
出版者
EI入藏号
20121414924680
EI主题词
CMOS integrated circuits ; Hafnium compounds ; Nickel compounds ; Silicon compounds ; Titanium compounds
EI分类号
Semiconductor Devices and Integrated Circuits:714.2
ESI学科分类
ENGINEERING
来源库
Web of Science
引用统计
被引频次[WOS]:23
成果类型期刊论文
条目标识符http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/30431
专题南方科技大学
工学院_深港微电子学院
作者单位
1.Nanyang Technol Univ, Sch EEE, Singapore 639798, Singapore
2.Natl Univ Singapore, ECE Dept, Singapore 117576, Singapore
3.Peking Univ, Inst Microelect, Beijing 100871, Peoples R China
4.Soitec, F-38926 Bernin, Crolles, France
5.Fudan Univ, Dept Microelect, Shanghai 200433, Peoples R China
6.S Univ Sci & Technol China, Shenzhen 518055, Peoples R China
通讯作者单位南方科技大学
推荐引用方式
GB/T 7714
Tran, X. A.,Zhu, W. G.,Gao, B.,et al. A Self-Rectifying HfOx-Based Unipolar RRAM With NiSi Electrode[J]. IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS,2012,33(4):585-587.
APA
Tran, X. A..,Zhu, W. G..,Gao, B..,Kang, J. F..,Liu, W. J..,...&Yu, H. Y..(2012).A Self-Rectifying HfOx-Based Unipolar RRAM With NiSi Electrode.IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS,33(4),585-587.
MLA
Tran, X. A.,et al."A Self-Rectifying HfOx-Based Unipolar RRAM With NiSi Electrode".IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS 33.4(2012):585-587.
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