南方科技大学知识苑(SUSTech KC): 集成电路工艺课程实践教学设计

题名	集成电路工艺课程实践教学设计
作者	蒋苓利2 ; 刘欢2 ; 于洪宇2
发表日期	2022
DOI	10.12179/1672-4550.20210332
发表期刊	实验科学与技术影响因子和分区
ISSN	1672-4550
卷号	20 期号:2页码:112-116
摘要	随着集成电路工艺技术呈现日新月异的发展,集成电路工艺实践的教学需要通过现代化的课程设计、完善的教学内容,全面培养学生在集成电路工艺领域的实践能力.通过对集成电路工艺实验教学的课程目标、课程内容、教学环节、课程考核等多方面讨论,展开对集成电路工艺实践课程的研究与探索.以一个电容器的设计和制造贯穿整个课程,综合运用器件仿真软件、版图绘制软件、工艺制造设备、电学测量设备,构建完善连贯的实验流程,以期提升学生利用已有知识解决实际问题的能力.
关键词	集成电路实践教学工艺半导体
相关链接	[万方记录]
语种	中文
学校署名	第一
资助项目	南方科技大学本科教学质量%(教学改革工程项目)
来源库	WanFang
万方记录号	perioarticalsykxyjs202202020
引用统计	被引频次[WOS]：0
成果类型	期刊论文
条目标识符	http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/334776
专题	工学院_深港微电子学院
作者单位	1.南方科技大学深港微电子学院,深圳 518055 2.南方科技大学
第一作者单位	南方科技大学
第一作者的第一单位	南方科技大学
推荐引用方式 GB/T 7714	蒋苓利,刘欢,于洪宇. 集成电路工艺课程实践教学设计[J]. 实验科学与技术,2022,20(2):112-116.
APA	蒋苓利,刘欢,&于洪宇.(2022).集成电路工艺课程实践教学设计.实验科学与技术,20(2),112-116.
MLA	蒋苓利,et al."集成电路工艺课程实践教学设计".实验科学与技术 20.2(2022):112-116.