| 题名 | 一种基于电化学刻蚀制备金属探针的方法及装置 |
| 发明人 | |
| 第一发明人 | 邓辉
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| 申请人 | 南方科技大学
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| 第一申请人 | 南方科技大学
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| 第一申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
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| 当前申请人 | 南方科技大学
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| 当前申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| 当前第一申请人 | 南方科技大学
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| 当前第一申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| 申请号 | CN201910759648.X
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| 申请日期 | 2019-08-16
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| 公开(公告)号 | CN110568226B
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| 公开日期 | 2022-05-03
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| 授权日期 | 2022-05-03
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| 专利状态 | 授权
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| 法律状态日期 | 2022-05-03
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| 专利类型 | 授权发明
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| 学校署名 | 第一
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| 摘要 | 本发明公开了一种基于电化学刻蚀制备金属探针的方法及装置，所述基于电化学刻蚀制备金属探针的方法包括以下步骤：(1)取金属丝置于分层液体中，分层液体包括上层的腐蚀液和下层的惰性液体，金属丝的第一端伸入到惰性液体中，第二端连接电源的一极；取电极连接电源的另一极，与分层液体、金属丝连接形成通路进行电化学刻蚀，收集粗金属探针；(2)取环状电极，环状电极上覆有腐蚀液形成的液膜，将粗金属探针的针尖竖直穿过液膜并与液态金属材料接触，所述液体金属材料包括液态金属或液态金属合金，进行电化学刻蚀。本发明的方法通过控制条件能够得到不同规格的金属探针，具有较好的适用性和应用前景。 |
| 其他摘要 | 本发明公开了一种基于电化学刻蚀制备金属探针的方法及装置，所述基于电化学刻蚀制备金属探针的方法包括以下步骤：(1)取金属丝置于分层液体中，分层液体包括上层的腐蚀液和下层的惰性液体，金属丝的第一端伸入到惰性液体中，第二端连接电源的一极；取电极连接电源的另一极，与分层液体、金属丝连接形成通路进行电化学刻蚀，收集粗金属探针；(2)取环状电极，环状电极上覆有腐蚀液形成的液膜，将粗金属探针的针尖竖直穿过液膜并与液态金属材料接触，所述液体金属材料包括液态金属或液态金属合金，进行电化学刻蚀。本发明的方法通过控制条件能够得到不同规格的金属探针，具有较好的适用性和应用前景。 |
| CPC分类号 | G01Q70/16
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| IPC 分类号 | G01Q70/16
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| INPADOC 法律状态 | （+PATENT GRANT）[2022-05-03][CN]
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| INPADOC 同族专利数量 | 1
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| 扩展同族专利数量 | 1
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| 专利代理人 | 刘方
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| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司
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| 相关链接 | [来源记录] |
| 来源库 | PatSnap
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| 成果类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/337763 |
| 专题 | 工学院_机械与能源工程系 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 |
邓辉,覃山力. 一种基于电化学刻蚀制备金属探针的方法及装置[P]. 2022-05-03.
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| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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