| 题名 | 纳米压印模板、系统以及压印方法 |
| 发明人 | |
| 第一发明人 | 程鑫
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| 申请人 | 南方科技大学
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| 第一申请人 | 南方科技大学
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| 第一申请人地址 | 518000 广东省深圳市南山区西丽大学城南方科技大学第二科研楼403
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| 当前申请人 | 南方科技大学
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| 当前申请人地址 | 518000 广东省深圳市南山区西丽大学城南方科技大学第二科研楼403 (广东,深圳,南山区)
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| 当前第一申请人 | 南方科技大学
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| 当前第一申请人地址 | 518000 广东省深圳市南山区西丽大学城南方科技大学第二科研楼403 (广东,深圳,南山区)
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| 申请号 | CN201410044777.8
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| 申请日期 | 2014-02-07
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| 公开(公告)号 | CN103926789B
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| 公开日期 | 2016-04-20
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| 授权日期 | 2016-04-20
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| 专利状态 | 授权
; 许可
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| 法律状态日期 | 2016-04-20
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| 专利类型 | 授权发明
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| 学校署名 | 第一
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| 摘要 | 本发明公开了一种纳米压印模板、系统以及压印方法。该纳米压印模板包括：对紫外光透明的第一基板；压印图形结构，形成在第一基板的第一表面上；加热部件，形成在第一基板的与第一表面相对的第二表面上，其中加热部件对紫外光透明；以及第一电极对，形成在第二表面上，用于将外部电源施加的电流提供给加热部件从而使加热部件产生热量。本发明的纳米压印模板和系统将紫外固化纳米压印技术和热塑纳米压印技术无缝融合在一起，具有设备体积小、成本低、工艺简单等优点。利用本发明的模板和系统进行热塑纳米压印时能够复制大面积微纳图形；利用本发明的模板和系统进行紫外光固化纳米压印时能够实现提高工艺吞吐量和减少图形复制缺陷的目的。 |
| 其他摘要 | A nano-imprinting template, a system, and an imprinting method are provided. The nano-imprinting template (10) comprises: a first baseplate (100) transparent to ultraviolet light; an imprinting pattern structure (105) formed on the first surface of the first baseplate (100); a heating element (110) formed on the second surface, opposite to the first surface, of the first baseplate (100), wherein the heating element (110) is transparent to ultraviolet light; and a first electrode pair (115) formed on the second surface and used for supplying a current applied by an external power supply to the heating element (110) so as to make the heating part (110) generate heat. The nano-imprinting template (10) and the system seamlessly integrate an ultraviolet curing nano-imprinting technology with a thermoplastic nano-imprinting technology, which have the advantages of small size of equipment, low cost, simple process and the like. When the template and the system are used to carry out thermoplastic nano-imprinting, a large area of micro-nano patterns can be copied. In addition, when the template and the system are used to carry out UV curing nano-imprinting, the purposes of improving the process throughput and reducing the pattern replication defects are achieved. |
| CPC分类号 | G03F7/0002
; B29C59/002
; B29C59/022
; B29C59/026
; B29K2701/12
; B29L2031/34
|
| IPC 分类号 | G03F7/00
; H01L21/67
; B82Y10/00
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| INPADOC 法律状态 | （ENTRY INTO FORCE OF RECORDATION OF PATENT LICENSING CONTRACT）[2021-04-16][CN]
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| INPADOC 同族专利数量 | 3
|
| 扩展同族专利数量 | 3
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| 专利代理人 | 胡彬
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| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司
|
| 相关链接 | [来源记录] |
| 来源库 | PatSnap
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| 成果类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/337789 |
| 专题 | 工学院_材料科学与工程系 工学院_深港微电子学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 |
程鑫,崔德虎,李自平,等. 纳米压印模板、系统以及压印方法[P]. 2016-04-20.
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| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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