一种基于纤毛温度传感的柔性电子皮肤及其制备方法

刘玮书; 张双猛; 胡继真; 刘勇

刘玮书

南方科技大学

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518000 广东省深圳市南山区学苑大道1088号

南方科技大学

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CN201810128938.X

2018-02-08

CN108168734B

2020-01-07

2020-01-07

授权

2020-01-07

授权发明

第一

本发明涉及柔性传感器技术领域，提供一种基于纤毛温度传感的柔性电子皮肤及其制备方法，柔性电子皮肤包括温度传感单元、置于温度传感单元上的传热单元以及将温度传感单元及传热单元封装于一体的封装层，所述温度传感单元包括柔性基底、由下至上依次沉积于所述柔性基底上的绝缘层、过渡层、多个薄膜热电堆以及绝热保护层，所述传热单元包括多个分别固定于各所述薄膜热电堆的传热区域上并伸出所述绝热保护层及所述封装层外的传热纤毛。本发明中，柔性电子皮肤结构简单，一体封装成型，便于集成化制备；且制作形成的电子皮肤柔性、弹性好，满足多种应用需求；同时，采用纤毛进行温度传感灵敏度高，精度准确，测温响应时间短，温度测量范围广。

A flexible electronic skin based on cilium temperature sensing, comprising a temperature sensing unit (10), a heat transfer unit (20) placed on the temperature sensing unit (10), and an encapsulation layer (30) that integrally encapsulates the temperature sensing unit (10) and the heat transfer unit (20), wherein the temperature sensing unit (10) comprises a flexible substrate (11), and an insulation layer (12), transition layer (13), plurality of thin film thermopiles (14) and thermal insulation layer (15) deposited on the flexible substrate (11) successively from bottom to top; the heat transfer unit (20) comprises a plurality of heat transfer cilia (21) that are separately fixed onto heat transfer regions (141) of the respective thin film thermopiles (14) and that extend outside the thermal insulation layer (15) and the encapsulation layer (30). A preparation method for the flexible electronic skin based on cilium temperature sensing.

G01K1/08 ; G01K1/16 ; G01K7/02 ; G01K13/00 ; G01K1/18

G01K13/00 ; G01K7/02 ; G01K1/16 ; G01K1/08

（+PATENT GRANT）[2020-01-07][CN]

3

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傅俏梅

深圳青年人专利商标代理有限公司

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刘玮书,张双猛,胡继真,等. 一种基于纤毛温度传感的柔性电子皮肤及其制备方法[P]. 2020-01-07.