| 题名 | 二氧化钛纳米薄膜制备方法及二氧化钛纳米薄膜 |
| 发明人 | |
| 第一发明人 | 邓辉
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| 申请人 | 南方科技大学
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| 第一申请人 | 南方科技大学
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| 第一申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
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| 当前申请人 | 南方科技大学
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| 当前申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| 当前第一申请人 | 南方科技大学
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| 当前第一申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| 申请号 | CN201910790001.3
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| 申请日期 | 2019-08-26
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| 公开(公告)号 | CN110499497B
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| 公开日期 | 2021-09-21
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| 授权日期 | 2021-09-21
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| 专利状态 | 授权
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| 法律状态日期 | 2021-09-21
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| 专利类型 | 授权发明
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| 学校署名 | 第一
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| 摘要 | 本发明公开了一种二氧化钛纳米薄膜制备方法及二氧化钛纳米薄膜，本发明属于二氧化钛纳米薄膜加工领域。本发明的二氧化钛纳米薄膜制备方法包括如下步骤：S1、提供惰性气体；S2、对惰性气体进行耦合，同时对惰性气体点火，产生惰性气体的等离子体火炬；S3、向惰性气体的等离子体火炬的内部通入反应气体，产生含有反应气体的等离子体火炬；S4、通过含有反应气体的等离子体火炬作用样品表面。本发明的二氧化钛纳米薄膜制备方法，其制备过程简单、易行，无二次污染。 |
| 其他摘要 | 本发明公开了一种二氧化钛纳米薄膜制备方法及二氧化钛纳米薄膜，本发明属于二氧化钛纳米薄膜加工领域。本发明的二氧化钛纳米薄膜制备方法包括如下步骤：S1、提供惰性气体；S2、对惰性气体进行耦合，同时对惰性气体点火，产生惰性气体的等离子体火炬；S3、向惰性气体的等离子体火炬的内部通入反应气体，产生含有反应气体的等离子体火炬；S4、通过含有反应气体的等离子体火炬作用样品表面。本发明的二氧化钛纳米薄膜制备方法，其制备过程简单、易行，无二次污染。 |
| CPC分类号 | C23C16/405
; C23C16/513
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| IPC 分类号 | C23C16/40
; C23C16/513
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| INPADOC 法律状态 | （+PATENT GRANT）[2021-09-21][CN]
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| INPADOC 同族专利数量 | 1
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| 扩展同族专利数量 | 1
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| 专利代理人 | 刘方
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| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司
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| 相关链接 | [来源记录] |
| 来源库 | PatSnap
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| 成果类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/338388 |
| 专题 | 工学院_机械与能源工程系 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 |
邓辉. 二氧化钛纳米薄膜制备方法及二氧化钛纳米薄膜[P]. 2021-09-21.
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| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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