| 题名 | 一种二氧化钒单晶微纳米线及其制备方法与应用 |
| 发明人 | |
| 第一发明人 | 程春
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| 申请人 | 南方科技大学
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| 第一申请人 | 南方科技大学
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| 第一申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
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| 当前申请人 | 南方科技大学
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| 当前申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| 当前第一申请人 | 南方科技大学
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| 当前第一申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| 申请号 | CN202110178476.4
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| 申请日期 | 2021-02-09
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| 公开(公告)号 | CN112981530B
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| 公开日期 | 2022-04-05
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| 授权日期 | 2022-04-05
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| 专利状态 | 授权
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| 法律状态日期 | 2022-04-05
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| 专利类型 | 授权发明
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| 学校署名 | 第一
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| 摘要 | 本发明提供一种二氧化钒单晶微纳米线及其制备方法与应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)混合五氧化二钒粉末与二氧化硅粉末，得到钒源粉末；(2)将生长衬底置于步骤(1)所得钒源粉末正上方，一并放入加热系统；(3)将步骤(2)所述加热系统抽真空并通入保护气体，启动升温程序进行化学气相沉积反应，制得二氧化钒单晶微纳米线。本发明实现了可控性地、高质量地定向生长各种不同相的二氧化钒晶体，进而拓宽了二氧化钒器件的应用范围并优化了其器件性能。 |
| 其他摘要 | 本发明提供一种二氧化钒单晶微纳米线及其制备方法与应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)混合五氧化二钒粉末与二氧化硅粉末，得到钒源粉末；(2)将生长衬底置于步骤(1)所得钒源粉末正上方，一并放入加热系统；(3)将步骤(2)所述加热系统抽真空并通入保护气体，启动升温程序进行化学气相沉积反应，制得二氧化钒单晶微纳米线。本发明实现了可控性地、高质量地定向生长各种不同相的二氧化钒晶体，进而拓宽了二氧化钒器件的应用范围并优化了其器件性能。 |
| CPC分类号 | C30B29/16
; C30B29/62
; C30B25/005
; H01L29/24
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| IPC 分类号 | C30B29/16
; C30B29/62
; C30B25/00
; H01L29/24
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| INPADOC 法律状态 | （+PATENT GRANT）[2022-04-05][CN]
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| INPADOC 同族专利数量 | 1
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| 扩展同族专利数量 | 1
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| 专利代理人 | 潘登
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| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司
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| 相关链接 | [来源记录] |
| 来源库 | PatSnap
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| 成果类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/338417 |
| 专题 | 工学院_材料科学与工程系 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 |
程春,石润,陈勇,等. 一种二氧化钒单晶微纳米线及其制备方法与应用[P]. 2022-04-05.
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| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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