南方科技大学知识苑(SUSTech KC): 转移探针、二维异质结及其制备方法和二维异质结的制备系统

题名	转移探针、二维异质结及其制备方法和二维异质结的制备系统
发明人	戴俊峰; 赵悦
第一发明人	戴俊峰
申请人	南方科技大学
第一申请人	南方科技大学
第一申请人地址	518051 广东省深圳市南山区西丽镇学苑大道1088号南方科技大学
当前申请人	南方科技大学
当前申请人地址	518051 广东省深圳市南山区西丽镇学苑大道1088号南方科技大学 (广东,深圳,南山区)
当前第一申请人	南方科技大学
当前第一申请人地址	518051 广东省深圳市南山区西丽镇学苑大道1088号南方科技大学 (广东,深圳,南山区)
申请号	CN201711048495.5
申请日期	2017-10-31
公开(公告)号	CN109727902B
公开日期	2020-11-10
授权日期	2020-11-10
专利状态	授权
法律状态日期	2020-11-10
专利类型	授权发明
学校署名	第一
摘要	本发明涉及一种转移探针及其制备方法、二维异质结及其制备方法和制备系统。该转移探针包括玻璃衬底及依次层叠在玻璃衬底上的透明的弹性缓冲层、提取层及转移层，提取层选自聚碳酸亚丙酯层及聚甲基丙烯酸甲酯层中的一种，转移层为氮化硼层，转移层的平整度为埃米级。上述转移探针能够有效保证二维异质结的平整性，进而提高二维异质结器件的质量。
其他摘要	The invention relates to a transfer probe and a preparation method thereof, and a two-dimensional heterojunction and a preparation method and a preparation system thereof. The transfer probe includesa glass substrate, and a transparent elastic buffer layer, an extraction layer and a transfer layer stacked in turn on the glass substrate. The extraction layer is either a polypropylene carbonate layer or a polymethyl methacrylate layer. The transfer layer is a boron nitride layer, and the smoothness of the transfer layer is angstrom-scale. The transfer probe can ensure the smoothness of two-dimensional hetero-junctions and improve the quality of two-dimensional heterojunction devices.
IPC 分类号	H01L21/683 ; H01L21/04
INPADOC 法律状态	（+PATENT GRANT）[2020-11-10][CN]
INPADOC 同族专利数量	1
扩展同族专利数量	1
专利代理人	潘霞
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司
相关链接	[来源记录]
来源库	PatSnap
成果类型	专利
条目标识符	http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/338844
专题	理学院_物理系量子科学与工程研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	戴俊峰,赵悦. 转移探针、二维异质结及其制备方法和二维异质结的制备系统[P]. 2020-11-10.