南方科技大学知识苑(SUSTech KC): 曲面纳米结构的制备方法

题名	曲面纳米结构的制备方法
发明人	段天利; 张锐; 王尧; 徐康; 马续航; 瞿学选
第一发明人	段天利
申请人	南方科技大学
第一申请人	南方科技大学
第一申请人地址	518055 广东省深圳市南山区西丽镇学苑大道1088号南方科技大学
当前申请人	南方科技大学
当前申请人地址	518055 广东省深圳市南山区西丽镇学苑大道1088号南方科技大学 (广东,深圳,南山区)
当前第一申请人	南方科技大学
当前第一申请人地址	518055 广东省深圳市南山区西丽镇学苑大道1088号南方科技大学 (广东,深圳,南山区)
申请号	CN201910719753.0
申请日期	2019-08-02
公开(公告)号	CN110589756B
公开日期	2020-11-10
授权日期	2020-11-10
专利状态	未缴年费
法律状态日期	2022-07-15
专利类型	授权发明
学校署名	第一
摘要	本发明涉及一种曲面纳米结构的制备方法。上述曲面纳米结构的制备方法包括如下步骤：在衬底上旋涂电子束抗蚀剂，形成抗蚀层；将抗蚀层进行曝光和显影，得到具有图案的抗蚀层；对衬底和具有图案的抗蚀层进行离子刻蚀，以使抗蚀层被刻蚀，并使衬底上形成曲面凹槽，得到曲面纳米结构。上述曲面纳米结构的制备方法工艺简单且能够得到具有光滑曲面的纳米结构。
其他摘要	The invention relates to a preparation method of a curved surface nanostructure. The preparation method of the curved surface nanostructure comprises the following steps: spin-coating an electron beamresist on a substrate to form a resist layer; exposing and developing the resist layer to obtain a resist layer with a pattern; and performing ion etching on the substrate and the resist layer with the pattern to etch the resist layer and form a curved surface groove on the substrate to obtain the curved surface nanostructure. The preparation method of the curved surface nanostructure is simple in process, and the nanostructure with the smooth curved surface can be obtained.
CPC分类号	B81C1/00214 ; B81C1/00349 ; B81C1/00396 ; B81C1/00531 ; B82Y40/00
IPC 分类号	B81C1/00 ; B82Y40/00
INPADOC 法律状态	（+PATENT GRANT）[2020-11-10][CN]
INPADOC 同族专利数量	1
扩展同族专利数量	1
专利代理人	潘霞
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司
相关链接	[来源记录]
来源库	PatSnap
成果类型	专利
条目标识符	http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/338848
专题	公共分析测试中心
推荐引用方式 GB/T 7714	段天利,张锐,王尧,等. 曲面纳米结构的制备方法[P]. 2020-11-10.