| 题名 | 一种飞秒激光双光子聚合微纳加工系统及方法 |
| 发明人 | |
| 第一发明人 | 程鑫
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| 申请人 | 南方科技大学
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| 第一申请人 | 南方科技大学
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| 第一申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
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| 当前申请人 | 南方科技大学
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| 当前申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| 当前第一申请人 | 南方科技大学
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| 当前第一申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| 申请号 | CN201410375257.5
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| 申请日期 | 2014-08-01
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| 公开(公告)号 | CN104155851B
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| 公开日期 | 2017-11-07
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| 授权日期 | 2017-11-07
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| 专利状态 | 授权
; 许可
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| 法律状态日期 | 2017-11-07
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| 专利类型 | 授权发明
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| 学校署名 | 第一
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| 摘要 | 本发明公开了一种飞秒激光双光子聚合微纳加工系统及方法，所述系统包括：飞秒激光器、外光路调制单元、取像装置、聚焦透镜、位移台、计算机以及监控装置，其中，取像装置，用于对三维微纳器件的截面图形逐层进行取像，以使调制后的飞秒激光形成按照所述各层截面图形排列的并行光束。本发明不仅可以同时加工多个三维微纳器件，还可以对任意复杂的三维微纳器件进行逐层加工，从而提高加工效率和工艺流量；此外，在进行逐层微纳加工的过程中，位移台只需沿微纳器件的截面厚度方向运动，这样不仅可以提高加工效率和工艺流量，还可以降低其在平面二维方向的定位精度要求，从而使加工工艺简化，难度降低。 |
| 其他摘要 | 本发明公开了一种飞秒激光双光子聚合微纳加工系统及方法，所述系统包括：飞秒激光器、外光路调制单元、取像装置、聚焦透镜、位移台、计算机以及监控装置，其中，取像装置，用于对三维微纳器件的截面图形逐层进行取像，以使调制后的飞秒激光形成按照所述各层截面图形排列的并行光束。本发明不仅可以同时加工多个三维微纳器件，还可以对任意复杂的三维微纳器件进行逐层加工，从而提高加工效率和工艺流量；此外，在进行逐层微纳加工的过程中，位移台只需沿微纳器件的截面厚度方向运动，这样不仅可以提高加工效率和工艺流量，还可以降低其在平面二维方向的定位精度要求，从而使加工工艺简化，难度降低。 |
| CPC分类号 | G03F7/0037
; G03F7/2053
; G03F7/70041
; G03F7/70416
; G03F7/7055
; G03F7/70641
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| IPC 分类号 | G03F7/20
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| INPADOC 法律状态 | （ENTRY INTO FORCE OF RECORDATION OF PATENT LICENSING CONTRACT）[2021-04-16][CN]
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| INPADOC 同族专利数量 | 3
|
| 扩展同族专利数量 | 3
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| 专利代理人 | 胡彬
; 路凯
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| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司
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| 相关链接 | [来源记录] |
| 来源库 | PatSnap
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| 成果类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/339596 |
| 专题 | 工学院_材料科学与工程系 工学院_深港微电子学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 |
程鑫,崔德虎,李自平,等. 一种飞秒激光双光子聚合微纳加工系统及方法[P]. 2017-11-07.
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| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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