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题名

Full Color Quantum Dot Light-Emitting Diodes Patterned by Photolithography Technology

作者
通讯作者Chen,Shuming
DOI
发表日期
2018
ISSN
0097-966X
EISSN
2168-0159
会议录名称
卷号
49
期号
1
页码
973-976
摘要
Photolithography is a high resolution and mature patterning technique which has been widely used in semiconductor industry. For display application, a pixel consists of red (R), green (G) and blue (B) side-by-side sub-pixels, which thereby requires a high resolution patterning of the light-emission layers. In this work, photolithography is used to fine pattern the quantum dot (QD) light-emitting layers. To prevent the QDs being washed off during the lift-off process, the ZnMgO layer is treated by the hydrophobic material hexamethyldisilazane (HMDS). With HMDS treatment, the adhesion between the QDs and the ZnMgO is effectively improved. As a result, side-by-side RGB QD with pixel size 30 μm × 120 μm is successfully achieved. After patterning, the R, G and B QLEDs exhibit a maximum current efficiency of 11.6 cd/A, 29.7 cd/A and 1.5 cd/A, respectively.
关键词
学校署名
第一 ; 通讯
语种
英语
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Scopus记录号
2-s2.0-85072110776
来源库
Scopus
引用统计
被引频次[WOS]:0
成果类型会议论文
条目标识符http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/402806
专题工学院_电子与电气工程系
作者单位
Department of Electrical and Electronic Engineering,Southern University of Science and Technology,Shenzhen,518055,China
第一作者单位电子与电气工程系
通讯作者单位电子与电气工程系
第一作者的第一单位电子与电气工程系
推荐引用方式
GB/T 7714
Ji,Tingjing,Jin,Shuang,Chen,Bingwei,et al. Full Color Quantum Dot Light-Emitting Diodes Patterned by Photolithography Technology[C],2018:973-976.
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