南方科技大学知识苑(SUSTech KC): Fast response PDMS/GaN Optical Vacuum Microsensors

题名	Fast response PDMS/GaN Optical Vacuum Microsensors
作者	Fan Geng1 ; Binlu Yu 1; Kwai Hei Li2
通讯作者	Kwai Hei Li
发表日期	2023
DOI	10.1109/LED.2022.3227948
发表期刊	IEEE Electron Device Letters 影响因子和分区
ISSN	1558-0563
卷号	PP 期号:99页码:1-1
关键词	Gallium Nitride Vacuum Sensor Optical Microsensor
相关链接	[IEEE记录]
收录类别	SCI ; EI
语种	英语
学校署名	第一 ; 通讯
WOS记录号	WOS:000967315600001
EI入藏号	20225213306401
EI主题词	Atmospheric pressure ; Fabrication ; Gallium nitride ; Light emitting diodes ; Microchannels ; Optical films ; Plastic films
EI分类号	Atmospheric Properties:443.1 ; Semiconducting Materials:712.1 ; Semiconductor Devices and Integrated Circuits:714.2 ; Optical Devices and Systems:741.3 ; Polymer Products:817.1
ESI学科分类	ENGINEERING
来源库	IEEE
全文链接	https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=9978916
引用统计	被引频次[WOS]：0
成果类型	期刊论文
条目标识符	http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/419324
专题	工学院_深港微电子学院
作者单位	1.School of Microelectronics, Southern University of Science and Technology, Shenzhen, China 2.Guangdong Provincial Engineering Research Center of 3-D Integration, Southern University of Science and Technology, Shenzhen, China
第一作者单位	深港微电子学院
通讯作者单位	南方科技大学
第一作者的第一单位	深港微电子学院
推荐引用方式 GB/T 7714	Fan Geng,Binlu Yu,Kwai Hei Li. Fast response PDMS/GaN Optical Vacuum Microsensors[J]. IEEE Electron Device Letters,2023,PP(99):1-1.
APA	Fan Geng,Binlu Yu,&Kwai Hei Li.(2023).Fast response PDMS/GaN Optical Vacuum Microsensors.IEEE Electron Device Letters,PP(99),1-1.
MLA	Fan Geng,et al."Fast response PDMS/GaN Optical Vacuum Microsensors".IEEE Electron Device Letters PP.99(2023):1-1.