| 题名 | 一种有序图案化多孔金刚石薄膜及其制备方法和用途 |
| 发明人 | |
| 第一发明人 | 王晓飞
|
| 申请人 | 南方科技大学
|
| 第一申请人 | 南方科技大学
|
| 第一申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
|
| 当前申请人 | 南方科技大学
|
| 当前申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
|
| 当前第一申请人 | 南方科技大学
|
| 当前第一申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
|
| 申请号 | CN202010611752.7
|
| 申请日期 | 2020-06-29
|
| 公开(公告)号 | CN112011784B
|
| 公开日期 | 2022-09-20
|
| 授权日期 | 2022-09-20
|
| 专利状态 | 授权
|
| 法律状态日期 | 2022-09-20
|
| 专利类型 | 授权发明
|
| 学校署名 | 第一
|
| 摘要 | 本发明公开了一种有序图案化多孔金刚石薄膜及其制备方法和用途。所述多孔金刚石薄膜包括微米尺度的有序图案化孔洞以及微米金刚石薄膜；所述孔洞的底面中空，所述微米金刚石薄膜连续分布在孔洞的底面边缘、侧壁以及非孔洞的位置。所述方法包括：1)采用纳米压印方法在基底上获得有序图案化的孔洞，得到图案化的基底；2)采用微波等离子体化学气相沉积方法，在基底上沉积生长微米金刚石薄膜，得到有序图案化多孔金刚石薄膜。本发明的金刚石薄膜在厚度方向上均匀致密、表面多孔结构空间尺寸可控可调，有效实现了金刚石超硬涂层表面的大面积图案化薄膜的制备和生长。 |
| 其他摘要 | 本发明公开了一种有序图案化多孔金刚石薄膜及其制备方法和用途。所述多孔金刚石薄膜包括微米尺度的有序图案化孔洞以及微米金刚石薄膜；所述孔洞的底面中空，所述微米金刚石薄膜连续分布在孔洞的底面边缘、侧壁以及非孔洞的位置。所述方法包括：1)采用纳米压印方法在基底上获得有序图案化的孔洞，得到图案化的基底；2)采用微波等离子体化学气相沉积方法，在基底上沉积生长微米金刚石薄膜，得到有序图案化多孔金刚石薄膜。本发明的金刚石薄膜在厚度方向上均匀致密、表面多孔结构空间尺寸可控可调，有效实现了金刚石超硬涂层表面的大面积图案化薄膜的制备和生长。 |
| CPC分类号 | C23C16/274
; C23C16/276
; C23C16/0254
; C23C16/517
; B01D69/00
; B01D71/021
; B01J20/20
; B01J20/28033
; B01J2220/4806
|
| IPC 分类号 | C23C16/27
; C23C16/02
; C23C16/517
; B01J20/28
; B01J20/20
; B01D71/02
; B01D69/00
|
| INPADOC 法律状态 | （+PATENT GRANT）[2022-09-20][CN]
|
| INPADOC 同族专利数量 | 1
|
| 扩展同族专利数量 | 1
|
| 优先权日 | 2020-06-29
|
| 专利代理人 | 潘登
|
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司
|
| 相关链接 | [来源记录] |
| 来源库 | PatSnap
|
| 成果类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/427685 |
| 专题 | 前沿与交叉科学研究院 工学院_材料科学与工程系 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 |
王晓飞,许佼,李玉磊,等. 一种有序图案化多孔金刚石薄膜及其制备方法和用途[P]. 2022-09-20.
|
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
| 个性服务 |
| 原文链接 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 导出为Excel格式 |
| 导出为Csv格式 |
| Altmetrics Score |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [王晓飞]的文章 |
| [许佼]的文章 |
| [李玉磊]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [王晓飞]的文章 |
| [许佼]的文章 |
| [李玉磊]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [王晓飞]的文章 |
| [许佼]的文章 |
| [李玉磊]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论