南方科技大学知识苑(SUSTech KC): 一种电化学抛光方法与电化学抛光装置

题名	一种电化学抛光方法与电化学抛光装置
发明人	邓辉
第一发明人	邓辉
申请人	南方科技大学
第一申请人	南方科技大学
第一申请人地址	518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
当前申请人	南方科技大学
当前申请人地址	518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
当前第一申请人	南方科技大学
当前第一申请人地址	518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
申请号	CN201710748223.X
申请日期	2017-08-28
公开(公告)号	CN107488872B
公开日期	2023-02-03
授权日期	2023-02-03
专利状态	授权
法律状态日期	2023-02-03
专利类型	授权发明
学校署名	第一
摘要	本发明涉及金属表面处理领域，公开了一种电化学抛光方法与装置，电化学抛光方法包括：对金属工件进行初步的电化学抛光；设置一吻合金属工件表面形状的参考面，并使得参考面贴近金属工件的表面；使参考面沿靠近‑远离金属工件的方向振动，同时进行电化学抛光；判定金属工件的表面质量是否达到要求，如果达到要求，终止电化学抛光；如果未达到要求，调整参考面振动时距离金属工件表面的最小距离，并重复步骤S30与步骤S40，以此循环。本发明可以将粘性膜的厚度人为控制在合适的区间，加快金属选择性溶解速度或者延长金属选择性溶解时间，从而可以大大提高工件的表面质量，将工件表面的无论高频还是低频，宏观还是微观的所有波形全部进行整平。
其他摘要	本发明涉及金属表面处理领域，公开了一种电化学抛光方法与装置，电化学抛光方法包括：对金属工件进行初步的电化学抛光；设置一吻合金属工件表面形状的参考面，并使得参考面贴近金属工件的表面；使参考面沿靠近‑远离金属工件的方向振动，同时进行电化学抛光；判定金属工件的表面质量是否达到要求，如果达到要求，终止电化学抛光；如果未达到要求，调整参考面振动时距离金属工件表面的最小距离，并重复步骤S30与步骤S40，以此循环。本发明可以将粘性膜的厚度人为控制在合适的区间，加快金属选择性溶解速度或者延长金属选择性溶解时间，从而可以大大提高工件的表面质量，将工件表面的无论高频还是低频，宏观还是微观的所有波形全部进行整平。
IPC 分类号	C25F3/16 ; C25F7/00
INPADOC 法律状态	（ENTRY INTO FORCE OF REQUEST FOR SUBSTANTIVE EXAMINATION）[2018-01-12][CN]
INPADOC 同族专利数量	1
扩展同族专利数量	1
优先权日	2017-08-28
专利代理人	谢岳鹏
代理机构	广州嘉权专利商标事务所有限公司
相关链接	[来源记录]
来源库	PatSnap
成果类型	专利
条目标识符	http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/428784
专题	工学院_机械与能源工程系
推荐引用方式 GB/T 7714	邓辉. 一种电化学抛光方法与电化学抛光装置[P]. 2023-02-03.