| 题名 | 一种静电吸附电极和静电吸附装置 |
| 发明人 | |
| 第一发明人 | 王宏强
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| 申请人 | 南方科技大学
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| 第一申请人 | 南方科技大学
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| 第一申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
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| 当前申请人 | 南方科技大学
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| 当前申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| 当前第一申请人 | 南方科技大学
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| 当前第一申请人地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| 申请号 | CN202110118646.X
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| 申请日期 | 2021-01-28
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| 公开(公告)号 | CN112936316B
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| 公开日期 | 2022-12-02
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| 授权日期 | 2022-12-02
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| 专利状态 | 授权
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| 法律状态日期 | 2022-12-02
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| 专利类型 | 授权发明
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| 学校署名 | 第一
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| 摘要 | 本发明公开了一种静电吸附电极和静电吸附装置，该静电吸附电极包括第一基底层、第一导电层和绝缘层，第一导电层设于第一基底层上，第一导电层的厚度≤7μm；绝缘层设于第一导电层上背离第一基底层的一侧表面，绝缘层的厚度≤7μm。本发明静电吸附电极通过控制第一导电层和绝缘层的厚度，使得电极发生电击穿后具备自清理能力，使其被击穿后仍能正常工作，延长使用寿命。 |
| 其他摘要 | 本发明公开了一种静电吸附电极和静电吸附装置，该静电吸附电极包括第一基底层、第一导电层和绝缘层，第一导电层设于第一基底层上，第一导电层的厚度≤7μm；绝缘层设于第一导电层上背离第一基底层的一侧表面，绝缘层的厚度≤7μm。本发明静电吸附电极通过控制第一导电层和绝缘层的厚度，使得电极发生电击穿后具备自清理能力，使其被击穿后仍能正常工作，延长使用寿命。 |
| CPC分类号 | B25J15/0085
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| IPC 分类号 | B25J15/00
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| INPADOC 法律状态 | （+PATENT GRANT）[2022-12-02][CN]
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| INPADOC 同族专利数量 | 1
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| 扩展同族专利数量 | 1
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| 优先权日 | 2021-01-28
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| 专利代理人 | 张建珍
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| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司
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| 相关链接 | [来源记录] |
| 来源库 | PatSnap
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| 成果类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/429320 |
| 专题 | 南方科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 |
王宏强,朱人杰,毛建军,等. 一种静电吸附电极和静电吸附装置[P]. 2022-12-02.
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| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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