| 题名 | 生物掩膜版以及在衬底上图案化的方法 |
| 发明人 | |
| 第一发明人 | 叶怀宇
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| 申请人 | 南方科技大学
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| 第一申请人 | 南方科技大学
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| 第一申请人地址 | 518000 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
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| 当前申请人 | 南方科技大学
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| 当前申请人地址 | 518000 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| 当前第一申请人 | 南方科技大学
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| 当前第一申请人地址 | 518000 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
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| 申请号 | CN202110616453.7
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| 申请日期 | 2021-06-02
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| 公开(公告)号 | CN113363140B
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| 公开日期 | 2023-03-28
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| 授权日期 | 2023-03-28
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| 专利状态 | 授权
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| 法律状态日期 | 2023-03-28
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| 专利类型 | 授权发明
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| 学校署名 | 第一
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| 摘要 | 本申请涉及一种生物掩膜版以及在衬底上图案化的方法，属于集成电路制备技术领域。在衬底上图案化的方法，包括如下步骤：在衬底上形成光刻胶层。在光刻胶层的背离衬底的表面形成生物掩膜版。对生物掩膜版进行曝光、显影、去除生物掩膜版、刻蚀、去除光刻胶，得到图案化的衬底。其中，生物掩膜版包括磷脂双层膜和嵌入磷脂双层膜内的孔蛋白。本申请中，在衬底上进行图案化时所使用的掩膜版为生物掩膜版，其通过孔蛋白来形成图案，能够有效降低工艺成本。 |
| 其他摘要 | 本申请涉及一种生物掩膜版以及在衬底上图案化的方法，属于集成电路制备技术领域。在衬底上图案化的方法，包括如下步骤：在衬底上形成光刻胶层。在光刻胶层的背离衬底的表面形成生物掩膜版。对生物掩膜版进行曝光、显影、去除生物掩膜版、刻蚀、去除光刻胶，得到图案化的衬底。其中，生物掩膜版包括磷脂双层膜和嵌入磷脂双层膜内的孔蛋白。本申请中，在衬底上进行图案化时所使用的掩膜版为生物掩膜版，其通过孔蛋白来形成图案，能够有效降低工艺成本。 |
| IPC 分类号 | H01L21/027
; G03F1/76
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| INPADOC 法律状态 | （ENTRY INTO FORCE OF REQUEST FOR SUBSTANTIVE EXAMINATION）[2021-09-24][CN]
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| INPADOC 同族专利数量 | 1
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| 扩展同族专利数量 | 1
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| 优先权日 | 2021-06-02
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| 专利代理人 | 付兴奇
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| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
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| 相关链接 | [来源记录] |
| 来源库 | PatSnap
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| 成果类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/522331 |
| 专题 | 南方科技大学-香港科技大学深港微电子学院筹建办公室 工学院_深港微电子学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 |
叶怀宇,王少刚,高宸山,等. 生物掩膜版以及在衬底上图案化的方法[P]. 2023-03-28.
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| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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