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题名

一种基于GaN/rGO异质结的柔性光电传感器及其制备方法

发明人
第一发明人
胡来归
申请人
深圳第三代半导体研究院
第一申请人
深圳第三代半导体研究院
第一申请人地址
518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1088号台州楼
当前申请人
南方科技大学
当前申请人地址
518000 广东省深圳市南山区桃源街道学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
当前第一申请人
南方科技大学
当前第一申请人地址
518000 广东省深圳市南山区桃源街道学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
申请号
CN202010218649.6
申请日期
2020-03-25
公开(公告)号
CN111509083B
公开日期
2022-01-25
授权日期
2022-01-25
专利状态
授权 ; 权利转移
法律状态日期
2022-01-25
专利类型
授权发明
学校署名
非南科大
摘要
本发明提出了一种基于GaN/rGO异质结的柔性光电传感器,其包括正方形柔性衬底,粘合层,GaN层,rGO层,沿四条边的四个条形电极。本发明利用GaN/rGO异质结的内建电场,分离光斑照射产生的电子‑空穴对,并在器件表面电阻层rGO产生横向光电响应,该响应与入射光斑的位置、光强及器件的弯曲程度或压电效应相关,可实现一个器件多种用途。区别于传统的硅基光电传感器,该发明可根据需求,测量三种物理量,即光斑位置、光强和外部力学刺激。
其他摘要
本发明提出了一种基于GaN/rGO异质结的柔性光电传感器,其包括正方形柔性衬底,粘合层,GaN层,rGO层,沿四条边的四个条形电极。本发明利用GaN/rGO异质结的内建电场,分离光斑照射产生的电子‑空穴对,并在器件表面电阻层rGO产生横向光电响应,该响应与入射光斑的位置、光强及器件的弯曲程度或压电效应相关,可实现一个器件多种用途。区别于传统的硅基光电传感器,该发明可根据需求,测量三种物理量,即光斑位置、光强和外部力学刺激。
CPC分类号
H01L31/18 ; H01L31/109 ; H01L31/1892 ; H01L31/1896 ; H01L31/03926 ; H01L31/022408 ; H01L31/035281 ; Y02P70/50
IPC 分类号
H01L31/18 ; H01L31/0392 ; H01L31/0224 ; H01L31/0352 ; H01L31/109
INPADOC 法律状态
(TRANSFER OF PATENT RIGHT)[2023-04-25][CN]
INPADOC 同族专利数量
1
扩展同族专利数量
1
优先权日
2020-03-25
专利代理人
彭随丽
代理机构
北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙)
相关链接[来源记录]
来源库
PatSnap
成果类型专利
条目标识符http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/539098
专题南方科技大学
推荐引用方式
GB/T 7714
胡来归,叶怀宇,张国旗. 一种基于GaN/rGO异质结的柔性光电传感器及其制备方法[P]. 2022-01-25.
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