南方科技大学知识苑(SUSTech KC): 一种表面具有拓扑图案的金刚石薄膜及其制备方法和应用

题名	一种表面具有拓扑图案的金刚石薄膜及其制备方法和应用
发明人	任富增; 朱明余 ; 李玉磊; 王晓飞; 赵予生
第一发明人	任富增
申请人	南方科技大学
第一申请人	南方科技大学
第一申请人地址	518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
当前申请人	南方科技大学
当前申请人地址	518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
当前第一申请人	南方科技大学
当前第一申请人地址	518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 (广东,深圳,南山区)
申请号	CN202110647068.9
申请日期	2021-06-10
公开(公告)号	CN113388822B
公开日期	2023-05-12
授权日期	2023-05-12
专利状态	授权
法律状态日期	2023-05-12
专利类型	授权发明
学校署名	第一
摘要	本发明提供一种表面具有拓扑图案的金刚石薄膜及其制备方法和应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)在基底上制备拓扑图案，得到具有拓扑图案的基底；所述拓扑图案的制备方法选自光刻结合电感耦合等离子体刻蚀法、湿法刻蚀法或激光直写法中的任意一种；(2)在步骤(1)得到的具有拓扑图案的基底上沉积金刚石薄膜，得到所述表面具有拓扑图案的金刚石薄膜。所述制备方法具有可大面积制备、高精度以及图案可控的优点，由所述制备方法得到的金刚石薄膜可应用于牙科植入材料、骨科植入材料或者生物探针中。
其他摘要	本发明提供一种表面具有拓扑图案的金刚石薄膜及其制备方法和应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)在基底上制备拓扑图案，得到具有拓扑图案的基底；所述拓扑图案的制备方法选自光刻结合电感耦合等离子体刻蚀法、湿法刻蚀法或激光直写法中的任意一种；(2)在步骤(1)得到的具有拓扑图案的基底上沉积金刚石薄膜，得到所述表面具有拓扑图案的金刚石薄膜。所述制备方法具有可大面积制备、高精度以及图案可控的优点，由所述制备方法得到的金刚石薄膜可应用于牙科植入材料、骨科植入材料或者生物探针中。
CPC分类号	C23C16/271 ; C23C16/274 ; C23C16/0263 ; C23C16/511 ; A61L27/303 ; A61L27/06 ; A61L27/50 ; B23K26/362 ; A61L2430/12 ; A61L2420/02
IPC 分类号	C23C16/27 ; C23C16/511 ; C23C16/02 ; B23K26/362 ; A61L27/50 ; A61L27/30 ; A61L27/06
INPADOC 法律状态	（+PATENT GRANT）[2023-05-12][CN]
INPADOC 同族专利数量	1
扩展同族专利数量	1
优先权日	2021-06-10
专利代理人	潘登
代理机构	北京品源专利代理有限公司
相关链接	[来源记录]
来源库	PatSnap
成果类型	专利
条目标识符	http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/540307
专题	南方科技大学
推荐引用方式 GB/T 7714	任富增,朱明余,李玉磊,等. 一种表面具有拓扑图案的金刚石薄膜及其制备方法和应用[P]. 2023-05-12.