南方科技大学知识苑(SUSTech KC): 薄膜材料虚拟仿真实验的建设与教学实践——磁控溅射镀膜和原子力显微镜(AFM)在氢化纳米硅薄膜制作过程中的应用

题名	薄膜材料虚拟仿真实验的建设与教学实践——磁控溅射镀膜和原子力显微镜(AFM)在氢化纳米硅薄膜制作过程中的应用
作者	王晓峰; 杨珺; 陈佶
发表日期	2023
DOI	10.3969/j.issn.0509-4038.2023.08.026
发表期刊	物理通报影响因子和分区
ISSN	0509-4038
期号	8页码:111-116
摘要	为解决薄膜材料物理实验在大学物理实验教学中实验仪器昂贵,实验过程高危等困难,设计与建设了"磁控溅射镀膜和原子力显微镜(AFM)在氢化纳米硅制作过程中的应用"虚拟仿真实验.此虚拟仿真实验项目借助3D技术,真实还原并模拟了实验场景与过程,人机交互程度高,可操作性强.通过三年的教学实践与网络平台推广,取得了良好的教学效果以及学生的一致好评.
关键词	磁控溅射原子力显微镜虚拟仿真实验教学
相关链接	[万方记录]
语种	中文
学校署名	其他
资助项目	Y01201823:南方科技大学本科教学质量及教学改革工程项目 ; :广东省示范性虚拟仿真实验教学项目
来源库	WanFang
万方记录号	wltb202308026
引用统计	被引频次[WOS]：0
成果类型	期刊论文
条目标识符	http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/571428
专题	理学院_物理系
作者单位	南方科技大学物理系广东深圳 518055
推荐引用方式 GB/T 7714	王晓峰,杨珺,陈佶. 薄膜材料虚拟仿真实验的建设与教学实践——磁控溅射镀膜和原子力显微镜(AFM)在氢化纳米硅薄膜制作过程中的应用[J]. 物理通报,2023(8):111-116.
APA	王晓峰,杨珺,&陈佶.(2023).薄膜材料虚拟仿真实验的建设与教学实践——磁控溅射镀膜和原子力显微镜(AFM)在氢化纳米硅薄膜制作过程中的应用.物理通报(8),111-116.
MLA	王晓峰,et al."薄膜材料虚拟仿真实验的建设与教学实践——磁控溅射镀膜和原子力显微镜(AFM)在氢化纳米硅薄膜制作过程中的应用".物理通报 .8(2023):111-116.