南方科技大学知识苑(SUSTech KC): 电感耦合等离子刻蚀法加工石英晶体谐振器工艺研究

题名	电感耦合等离子刻蚀法加工石英晶体谐振器工艺研究
作者	张新海
通讯作者	张新海
发表日期	2023-09
DOI	1001-1625(2023)09-3395-07
发表期刊	硅酸盐通报影响因子和分区
卷号	42 期号:9页码:3395
摘要	为了制备石英晶体谐振器,在石英衬底上采用光刻和电感耦合等离子刻蚀技术制备台阶形貌,研究了制备过程中激励电源功率、偏压电源功率以及导热物质等工艺参数对刻蚀效果的影响。并且利用扫描电子显微镜对刻蚀图形的表面形貌进行了观察,通过实验与分析得到了符合工业生产要求的工艺参数。最后在最优工艺参数条件下,制得了高约 22 μm 的整齐的台阶形貌,并将干法刻蚀的结果与湿法刻蚀对比,展现了干法刻蚀的特点以及干法刻蚀应用于工业化生产石英晶体谐振器的潜力。
收录类别	Others
语种	中文
学校署名	第一 ; 通讯
来源库	人工提交
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成果类型	期刊论文
条目标识符	http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/729207
专题	南方科技大学工学院_电子与电气工程系
作者单位	南方科技大学
第一作者单位	南方科技大学
通讯作者单位	南方科技大学
第一作者的第一单位	南方科技大学
推荐引用方式 GB/T 7714	张新海. 电感耦合等离子刻蚀法加工石英晶体谐振器工艺研究[J]. 硅酸盐通报,2023,42(9):3395.
APA	张新海.(2023).电感耦合等离子刻蚀法加工石英晶体谐振器工艺研究.硅酸盐通报,42(9),3395.
MLA	张新海."电感耦合等离子刻蚀法加工石英晶体谐振器工艺研究".硅酸盐通报 42.9(2023):3395.

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电感耦合等离子刻蚀法加工石英晶体谐振器工（3101KB）	--	--	限制开放	--