南方科技大学知识苑(SUSTech KC): 面向EUV光源的实验流体力学研究进展

题名	面向EUV光源的实验流体力学研究进展
其他题名	Recent progress of experimental fluid mechanics for EUV sources
作者	邓巍巍; 翟天琪; 高立豪; 许晟昊; 赵新彦; 刘艳初
发表日期	2024
DOI	10.6052/1000-0992-23-044
发表期刊	力学进展影响因子和分区
ISSN	1000-0992
卷号	54 期号:1页码:138-172
摘要	EUV(极紫外)光源是EUV光刻机的核心部件,其原理是基于纳秒脉冲激光轰击锡液滴靶产生的等离子体辐射发光.EUV光源本质是一种流体光源,涉及丰富而复杂的流体力学基本问题,跨越从皮秒到毫秒的四个特征时间尺度.本文综述了面向EUV光源的实验流体力学研究进展.首先根据靶的类型,分别介绍了射流、液滴和液膜靶的生成与调控基本原理和技术路线.之后对三种靶与激光相互作用过程的特征时刻与典型现象进行了梳理,重点放在各个特征时间尺度内激光轰击液滴靶的研究进展,总结了不同参数激光脉冲轰击后靶的推进、变形和破碎规律.最后对EUV光源中值得重点关注的实验流体力学关键问题进行了总结和展望,提出改善激光等离子体EUV光源稳定性、亮度和寿命需要从以下三方面持续开展研究:高频率、小直径、长间距液滴靶串的精准生成和调控,激光辐照产生等离子体的膨胀和辐射规律,以及液滴靶变形破碎机理和碎屑抑制、收集及清洁技术.
关键词	EUV 激光实验流体力学等离子体
相关链接	[万方记录]
收录类别	EI
语种	中文
学校署名	其他
资助项目	12327803:国家自然科学基金 ; 11932009:国家自然科学基金 ; 2022A1515110355:广东省基础与应用基础研究基金资助项目
来源库	WanFang
万方记录号	lxjz202401004
引用统计
成果类型	期刊论文
条目标识符	http://sustech.caswiz.com/handle/2SGJ60CL/788241
专题	工学院_力学与航空航天工程系南方科技大学
作者单位	南方科技大学力学与航空航天工程系,广东深圳 518055
推荐引用方式 GB/T 7714	邓巍巍,翟天琪,高立豪,等. 面向EUV光源的实验流体力学研究进展[J]. 力学进展,2024,54(1):138-172.
APA	邓巍巍,翟天琪,高立豪,许晟昊,赵新彦,&刘艳初.(2024).面向EUV光源的实验流体力学研究进展.力学进展,54(1),138-172.
MLA	邓巍巍,et al."面向EUV光源的实验流体力学研究进展".力学进展 54.1(2024):138-172.