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李庚卓
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张佳乐
[1]
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[1]
用于EMC-Si-Cu复合界面平坦化的CMP抛光液的研究
来源：
深圳: 南方科技大学, 2024, 导师：王宁
作者：
张佳乐
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[2]
苯乙烯-马来酸酐共聚物作为单晶硅抛光液分散剂的研究
来源：
深圳: 南方科技大学, 2023, 导师：邓永红
作者：
何镇濠
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[3]
电化学刻蚀增强机械抛光氮化镓的加工工艺及机理研究
来源：
工程硕士, 深圳: 哈尔滨工业大学, 2019, 导师：邓辉
作者：
张临风
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[4]
先进硬脆材料的椭圆超声辅助固结磨粒化学机械抛光研究
来源：
工学硕士, 深圳: 哈尔滨工业大学, 2019, 导师：吴勇波
作者：
李庚卓
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